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Hatachi日立S-3700N多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

簡要描述:

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡
研究超大,超重,超高樣品的分析型掃描電鏡
● Z大可載樣品直徑達300mm
● Z大觀察區域直徑達203mm
● 在觀察110mm高樣品時可進行能譜分析
● 樣品室設置多種接口,可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優中心馬達臺可以傾斜--20°~+90°
● 采用節能,清潔的渦輪分子泵

更新時間:2018-03-17

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S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

產品介紹:

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡

研究超大,超重,超高樣品的分析型掃描電鏡

● zui大可載樣品直徑達300mm
● zui大觀察區域直徑達203mm
● 在觀察110mm高樣品時可進行能譜分析
● 樣品室設置多種接口,可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優中心馬達臺可以傾斜--20°~+90° 
● 采用節能,清潔的渦輪分子泵

S-3700N技術參數


分辨率SE 3.0nm,30KV(高真空模式)
10nm, 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm,30KV(低真空模式)
放大倍率x5~x300,000
加速電壓0.3~30KV
低真空范圍6~270Pa
圖像電位移±50μm (工作距離 10mm)
zui大裝載樣品直徑300mm


樣品臺


X150mm
Y110mm
Z5~65mm
R360°
T-20°~90°
觀測區域203mm直徑
樣品zui大高110mm(工作距離10mm)
樣品臺類型優中心馬達臺


電子光學系統


燈絲預對中燈絲
物鏡光闌4孔活動光闌4孔活動光闌
槍偏壓固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓
探測器二次電子探頭
5分割半導體式被散射探頭
分析位置工作距離10mm,取出角35°


顯示控制系統

控制模式鍵盤鼠標、操縱桿、旋鈕板
顯示器液晶顯示器
輔助功能3D動畫演示功能
電鏡操作導航功能
樣品操作導航功能
傾斜補償功能
存儲圖像精度640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
圖片格式BMP, TIFF, JPEG
圖像顯示模式全屏模式:1280 x 960
標準模式:640 x 480
分割模式:640 x 480 點 x 2
信號混合模式


真空系統

控制模式全自動
分子210升/秒,一臺
機械泵135升/分,一臺
保護措施斷電保護、漏氣保護

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